香豆素衍生物类三重态光敏剂的光刻应用研究

作者：温宇东; 周璐; 赵建章^*; 籍少敏; 孙宇曦; 曾庆明; 霍延平^*

来源：中国科学:化学 , 2023, 53(09): 1741-1749.

• 香豆素衍生物
• 电子转移
• 光聚合
• 光刻

本文制备了香豆素衍生物Coumarin-0和Coumarin-Ir,使用稳态/瞬态光谱和密度泛函理论计算证明了Coumarin-Ir分子的电荷转移光物理过程. Coumarin-Ir/Iod光引发体系存在三重态驱动的电子转移,证明了存在分子间氧化还原反应.受光激发后, Coumarin-Ir作为电子给体,电子转移至碘鎓盐(Iod),驱动了高效氧化还原反应的电子转移过程.同时还证明了在香豆素衍生物中引入IrⅢ原子可有效促进光聚合效率,从而使得单体在自由基聚合(FRP)中具有更高的双键转换效率,在阳离子聚合(CP)中具有优异的聚合速率.光刻实验结果表明,低固含量配比的光引发体系能够更有效地实现高分辨率线宽,这为构建合适的光刻胶配比提供了指导.

• 单位
  大连理工大学; 广东工业大学; 精细化工国家重点实验室