基于质量流量混合法的实时配气系统设计

作者：王东方; 魏庆农; 刘世胜; 冯巍巍; 詹锴

来源：微计算机信息, 2009, (05): 13-14.

• 质量流量混合法
• 质量流量控制器
• 配气系统

介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需求.

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所