原子力显微镜是一种原子级高分辨、高灵敏度的新型测量仪器，在微观领域及特殊领域被广泛应用。由于在测量样品形貌的时候存在扫描速度慢、耗时长的缺点，可通过引入软件PID反馈控制和硬件PID反馈控制等方法来有效提高其扫描速度。
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