原子光刻及关键技术分析

作者：张文涛

来源：激光与红外, 2006, (06): 427-430.

• 原子光刻
• 纳米结构
• 原子捕获
• 激光稳频
• 原子束沉积 atom lithography
• nanometer structure
• atom seizure
• laser steady frequency
• atom sediment

文章对原子光刻进行了深入的分析,介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案,针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积等关键技术,进行了分析和探讨。

• 单位
  桂林电子科技大学