平面微弹簧是微机电系统(MEMS)传递机械能和弹性力的关键结构,其疲劳性能直接关系到微机电系统的稳定性和可靠性。制备了线宽0.5mm的轧制态紫铜平面微弹簧,研究了坯料纤维组织初始角度、厚度和预热处理温度对微弹簧疲劳性能的影响。结果表明:采用轧制获得的纤维组织坯料和适当的纤维组织初始角度,可制备出疲劳性能优于坯料组织为等轴晶的微弹簧,且当初始角度提高至90°时,疲劳性能改善效果最好;厚度越小,失效循环次数越低;预热处理温度增大,等轴晶坯料晶粒尺寸越大,微弹簧疲劳性能越低。
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