氧化物薄膜晶体管研究进展

作者：兰林锋; 张鹏; 彭俊彪

来源：Acta Physica Sinica, 2016, 65(12): 5-26.

• 薄膜晶体管
• 输运机理
• 制备
• 稳定性

氧化物半导体材料因其载流子迁移率高、制备温度低、电学均匀性好、对可见光透明和成本低等优势,被认为是最适合驱动有机发光二极管的薄膜晶体管(TFT)的半导体有源材料之一.目前氧化物TFT已成功地应用在平板显示的驱动背板上.本文从氧化物TFT的历史和发展状况出发,先介绍了氧化物半导体材料及其载流子输运机理,然后详细介绍了氧化物TFT的结构、制备方法以及电学稳定性,接着介绍了近些年来氧化

• 单位
  华南理工大学