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摘要
为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时，导致探针压点位置不准，从而使测试结果不可靠，甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性，设计了标准尺的图形，在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条，制作成152.4 mm×20 mm的长方形标准尺，其测量范围为(0～150)mm。对标准尺进行了定标，定标不确定度为1.0μm。在测量范围内，进行了试验分析，评定了测量不确定度。结果表明：标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。
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为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时，导致探针压点位置不准，从而使测试结果不可靠，甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性，设计了标准尺的图形，在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条，制作成152.4 mm×20 mm的长方形标准尺，其测量范围为(0～150)mm。对标准尺进行了定标，定标不确定度为1.0μm。在测量范围内，进行了试验分析，评定了测量不确定度。结果表明：标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。
