PbSe光电导焦平面阵列探测器

作者：陈岩松; 任梓洋; 徐翰纶; 朱海明; 王垚; 吴惠桢^*

来源：红外与毫米波学报, 2022, 41(06): 980-986.

• PbSe
• 红外探测
• 焦平面
• 热成像

应用半导体非平衡载流子连续性方程模拟了PbSe光电导红外探测器参数对光电响应的影响，实验研制了小规模像元的x-y寻址型PbSe光电导焦平面阵列(FPA)探测器，像元尺寸为500μm×500μm，像元间距为500μm。实验表征了PbSe FPA探测器像元的光电响应性能，有效像元率达到了100%。500 K温度黑体辐射和3.0V偏压下像元的黑体响应率的范围是70～146 mA/W，平均响应率和平均探测率分别达到了110 mA/W和5.5×109cmHz1/2W-1。像元的噪声等效温差(NETD)范围是15～81mK，平均噪声等效温差为32 mK。使用中波红外成像装置，初步演示了PbSe FPA探测器对350～450℃热辐射目标的红外成像。为后续研制高密度像元PbSe FPA探测器奠定了基础。