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摘要
一种大口径超光滑表面缺陷检测装置和检测方法,该装置主要包括激光器、激光扩束系统、高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、旋转棱镜、远心场镜、高角度散射光探测器、低角度散射光探测器、行触发探测器、反射光探测器、精密位移平台和计算机。本发明能够显著提高对大口径光学元件的检测效率,避免了因高速旋转使大口径光学元件产生振动、轴向跳动等对检测结果产生严重影响。能实现对表面缺陷进行分类,识别出检测到的缺陷是凹坑、划痕还是凸起的灰尘、纤维等。
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一种大口径超光滑表面缺陷检测装置和检测方法,该装置主要包括激光器、激光扩束系统、高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、旋转棱镜、远心场镜、高角度散射光探测器、低角度散射光探测器、行触发探测器、反射光探测器、精密位移平台和计算机。本发明能够显著提高对大口径光学元件的检测效率,避免了因高速旋转使大口径光学元件产生振动、轴向跳动等对检测结果产生严重影响。能实现对表面缺陷进行分类,识别出检测到的缺陷是凹坑、划痕还是凸起的灰尘、纤维等。
