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摘要
磁控溅射法是制备金属涂层的优选方法，在对小颗粒微球进行镀膜时需要微球保持较高的流化状态。微球的流化状态受沉积室的结构参数和操作参数的影响。使用离散元软件DEMSLab对沉积室的内部结构、振动间隔、表面粗糙度、转动速度、搅拌球配比等因素进行了数值模拟计算。结果表明：三角板拼接的沉积室的搅拌效果优于圆筒沉积室；大球数量的增加有助于燃料微球的均匀分布；存在合理的转速和粗糙度，使得燃料微球的分布情况最佳。后续可进行设备参数和操作参数的多变量耦合研究，使沉积室内的颗粒分布均匀。
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单位中国核动力研究设计院
