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摘要
采用电化学沉积法，在较低电压下（4.0～8.0 V）以甲酸作为主要碳源，甲酸钠作为辅助碳源，二甲基亚砜与去离子水作为溶剂，在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜，研究了沉积电压对碳膜形貌和成分的影响。电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜致密、均匀，膜的电导率与沉积电压呈负相关关系，电导率介于金属与半导体之间。拉曼光谱在1332 cm-1处出现金刚石的特征峰，sp3碳成分随沉积电压的增加而增加。傅里叶红外变换光谱显示沉积的类金刚石碳膜为含氢碳膜。X射线光电子能谱分析显示这些薄膜中存在sp2和sp3键碳原子。
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