激光共聚焦显微镜在铜箔表面粗糙度测量中的应用

作者：张艳华; 葛鹰

来源：印制电路信息, 2020, 28(03): 26-29.

• 激光共聚焦
• 铜箔
• 表面粗糙度
• 非接触式

文章主要对激光法测量铜箔表面粗糙度的测量进行研究。结果表明,激光法具有灵敏度高、分辨率高、准确性高、速度快、不损伤样品等优点,在铜箔表面粗糙度测量技术上具有更大优势。

• 单位
  广东生益科技股份有限公司