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摘要
248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅(FBG)的首选刻蚀光源。针对FBG的刻写要求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进。实验研究了充电电压、放电电容、工作气体配比和储气腔内的气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化了激光器性能,输出的重复频率达200 Hz,单脉冲输出能量达16 mJ,能量不稳定度小于2%,输出窗口附近的近场光斑尺寸为6 mm×3 mm,最高输出效率为1.24%。用该激光器作为光源采用相位掩模法进行了FBG刻写的实验,效果良好。
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单位中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所
