低温制备高比例{001}晶面择优的锐钛矿薄膜

作者:肖帆; 姜珍兰; 陈劲宇; 宗晨; 刘升沛; 项军
来源:浙江工业大学学报, 2019, 47(02): 170-174.

摘要

通过低温水热法,在经退火处理的钛片上制备高比例{001}晶面择优的锐钛矿型TiO2薄膜。采用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD),研究分析不同水热条件对二氧化钛薄膜生长的影响。结果表明:在40~80℃升高反应温度,能促进晶体取向附着,有利于纳米晶在[001]方向上择优生长;适当延长反应时间,能有效促进纳米二氧化钛薄膜的结晶度和(001)晶面的择优。在钛基底上原位生长具有高比例(001)晶面择优的锐钛矿型二氧化钛薄膜具有两种不同的生长机制,[001]晶向的择优生长及(001)晶面的择优曝露,可以通过控制反应温度和反应时间等实验参数实现对二氧化钛纳米薄膜的控制。