平面面形绝对检验技术测量误差分析

作者：徐洋; 唐锋; 王向朝; 徐静浩; 范李立; 程欣

来源：中国激光, 2011, 38(10): 210-215.

• 测量
• 干涉测量
• 绝对检验
• 奇偶函数法
• 旋转对称法
• 镜面对称法 measurement
• interferometry
• absolute test
• odd-even function method
• rotation symmetry method
• mirror symmetry method

绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。

• 单位
  中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院研究生院