音叉式AFM探针针尖与表面接近特性的研究

作者：施慧; 高思田; 黄鹭; 沈小燕

来源：计量学报, 2020, 41(05): 524-528.

• 计量学
• 原子力显微镜
• 接近曲线
• Simulink
• 音叉探针

基于音叉式探针的特性,建立了探针针尖与样品表面接近过程中的动力学方程,并利用Simulink软件模拟了该过程中探针悬臂振幅响应情况。搭建了基于音叉探针的接近曲线检测装置,使用位移系统控制程序和锁相放大器数据采集程序,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,探针在25,50,75,100 m V的激励下,工作距离分别为4. 12,5. 1,5. 95,7. 6nm,结果与仿真相符。

• 单位
  中国计量大学; 中国计量科学研究院