一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器

作者：章秀银; 薛艳梅; 吴子莹; 周长见

来源：2019-07-25, 中国, ZL201921179868.7.

本实用新型公开了一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器,由上至下依次包括电极铝、压电基片、温度补偿层及衬底；所述衬底设有空腔,空腔与贯穿于温度补偿层、压电基片的释放通孔相通,所述压电基片为单晶材料。本实用新型在不改变压电基片的厚度情况下,谐振器的中心频率随着电极对激励方向的改变而发生变化。

• 单位
  华南理工大学