MVC技术在光刻机人机工程中的应用研究

作者：赵秋锦; 许武军; 黄栋梁; 杨志勇

来源：电子设计工程, 2014, 22(01): 30-34.

DOI：10.14022/j.cnki.dzsjgc.2014.01.026

• 光刻机
• 人机工程
• MVC
• 人机界面

针对光刻机界面现存的界面数据显示不一致、可靠性差、友好度低等问题,本文结合Model-View-Controller(MVC)模型及其关键技术设计出了操作快捷、响应事实、运行稳定的人机交互界面。结合ADAE(Adaptive Distribute Application Environment)平台和光刻机系统状态管理模型实现了人机交互界面的框架设计方案。

• 单位
  上海微电子装备有限公司