新型压电微泵的结构设计与理论分析

作者：耿照新; 崔大付; 王海宁; 刘长春

来源：传感器与微系统, 2006, (12): 82-84+88.

DOI：10.13873/j.1000-97872006.12.028

• 压电
• 微泵
• 微阀
• 聚二甲基硅氧烷 piezoelectricity
• micropump
• microvalve
• polydimethylsiloxane(PDMS)

微泵在微流控化学分析芯片中有很大的应用前景,日益成为人们研究的热点。从结构设计、理论分析和工艺加工3个方面研究了微阀与微泵,设计出用压电驱动和聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜的集成微阀与微泵,其特点是原理新颖、结构简单、易于加工、操作方便。结构主要是由PDMS泵膜、硅片和压电驱动器组成,其中,PDMS既是泵膜和缓冲单元,也是主动阀片。在直流电压的驱动下,其工作状态是微阀,阻止流体的单向流通,在方波信号的驱动下,其工作状态是微泵,实现流体的吸入与泵出。给出各种几何参数、工作原理和工艺流程。

• 单位
  中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所