摘要

采用离子注入技术在316L不锈钢基体上制备了氧化铝阻氚涂层。对离子注入法的不同工艺参数对α-Al2O3涂层摩擦磨损、耐腐蚀、抗热震、阻氚性能的影响进行了研究。结果表明:温度、加速电压及离子注入剂量对α-Al2O3的含量均有影响。温度升高时,α-Al2O3的含量增加。增大加速电压及离子注入剂量时,α-Al2O3含量均出现先升高后降低的规律。离子注入剂量对涂层的摩擦磨损、耐腐蚀性能影响比较大:离子注入剂量越大,涂层的耐磨、耐腐蚀性能越好。涂层经过200次热震测试后未发生变化,抗热震性能较好。Al2O3膜层具有优异的阻氚性能,在600℃下能使316L不锈钢的氚渗透率降低3个数量级。