应用于PECVD过渡流模拟的NS/DSMC双向耦合方法特性研究

作者：刘万锁; 岳向吉; 蔺增

来源：东北大学学报(自然科学版), 2023, 44(11): 1591-1603.

• NS/DSMC方法
• 双向耦合
• 过渡流
• 超前演算
• PECVD

将纳维-斯托克斯(NS)方程方法与直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法耦合以实现过渡流态计算.相对过去欠缺反馈机制的单向耦合方法，提出以NS,DSMC速度场相互修正边界值的方法实现双向耦合方法的反馈机制，这对于非稳态研究和数值修正十分重要.结果表明，双向耦合结果与全局DSMC结果有高相似性，相对单向耦合具有更高的效率、稳定性及精度，提高耦合强度可以提升稳定性与精度.双向耦合通过采用全局NS结果边界值获得更高的子域收敛性、稳定性及精度.提出超前演算方法可以增强DSMC域的时间耦合性，为非稳态计算奠定基础.

• 单位
  东北大学; 自动化学院