溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究

作者：何迎辉; 石慧杰; 金忠; 谢锋; 周国方

来源：电子工艺技术, 2020, 41(04): 215-217.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2020.04.009

• 溅射薄膜
• 薄膜压力传感器
• 压敏芯体
• 长期稳定性

溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析,探讨影响芯体长期稳定性的原因,针对原因进行工艺改进,可获得高稳定的薄膜压敏芯体。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所