柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究

作者：陈浩; 郑志强; 祁亚军^*; 梁坤; 章天金

来源：湖北大学学报(自然科学版), 2019, 41(03): 277-281.

• 柔性
• PZT薄膜
• 电学性能
• 稳定性

采用脉冲激光沉积技术在柔性云母衬底上制备高质量的Pb(Zr0. 52Ti0. 48)O3(PZT)外延薄膜.引入NiFe2O4作为外延生长种子层,实现PZT薄膜的(111)取向外延生长.电学性能测试显示其具有优异的铁电压电性能,在未弯曲时,剩余极化(2Pr)值和压电系数(d33)分别为55μC/cm2和87 pm/V.柔性PZT存储单元在弯曲、变温等条件下的铁电保持、疲劳性能测试显示其具有可靠稳定的信息存储功能.该结果表明柔性PZT薄膜在可穿戴电子器件领域具有重要的应用前景.

• 单位
  湖北大学