电子特气的合成与纯化技术研究进展

作者：何红振; 刘圆梦; 张金彪; 宋新巍; 许福胜

来源：低温与特气, 2023, 41(01): 1-46.

• 电子特气
• 合成
• 纯化

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料，被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高，一般在5N级，部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此，电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术，还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结，合成技术包括电解法、化学法和电解-化学法，纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等，具有一定的参考价值和指导意义。