微米金刚石聚晶薄膜场发射点的研究

作者：高金海^*; 崔颍琦; 张洁; 李成刚; 张兵临

来源：半导体光电, 2021, 42(02): 231-235.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.02.014

• 微波等离子体化学气相沉积
• 微米金刚石聚晶薄膜
• 场发射

采用微波等离子化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为反应气体,在镀有金属钛的陶瓷衬底上,制备了微米金刚石聚晶薄膜。利用扫描电镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱对薄膜的化学组成、微观结构和表面形貌进行了表征。用二级结构的场发射仪和扫描隧道显微镜研究了薄膜的场发射性能,结果表明微米金刚石聚晶薄膜发射点主要来源于聚晶颗粒。进一步研究了单个聚晶颗粒表面不同区域的发射性能,发现多种因素对场发射的性能有影响。

• 单位
  郑州师范学院; 电子工程学院