摘要
角度作为最基本的几何量之一,其精度直接影响制造业的产品质量。针对光栅传感器刻线数难以进一步提高的技术瓶颈,本文提出了一种基于正棱锥的角度传感器测量系统。通过正棱锥反射结构,将多束激光以45°入射至正棱锥棱面,并结合多个错位设置的位置敏感探测器,实现了角度的连续测量。实验结果表明,基于正棱锥的角度传感器原理正确,在1.2°的量程内,单个位置敏感探测器测量误差为±3.5″;四个位置敏感探测器连续交替测量时,在4.8°量程内,测量误差为±4″。本文提出的棱锥式角度传感器无需进行栅式刻线,精度与位置敏感探测器的距离以及其测量精度有关,随着位置敏感探测器的精度提升,系统的测量精度必然可以进一步提高。
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