<正>技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述研究所发明了基于MEMS(微机电系统)技术的创新性高性能电场传感器敏感结构,研制出国际上分辨力高的电场敏感芯片;发明了抗表面电荷积聚和离子流噪声干扰、环境适应性强的MEMS电场传感器敏感芯片封装方法与结构,研制出MEMS电场传感器系列新产品。研制的产品已应用于我国太原、西
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