科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明涉及一种用于非平基底的双光子自动加工方法、系统及设备。加工方法包括如下步骤：S1：调节基底的水平位置,使激光焦点的水平位置位于基底的初始加工区域内；S2：对激光进行对焦,对焦后在初始加工位置进行激光加工；S3：基底移动到下一加工点,在该加工点进行对焦,完成对焦后在该加工点进行激光加工；S4：重复S3直至完成所有加工点的加工,对加工完成的微纳结构进行显影,得到成品微纳结构。本发明通过对每个加工点进行自动对焦,解决了使用激光在非平基底上加工过程中,手动对焦操作繁复、耗时而且存在较大误差的问题。
- 单位
