科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
激光清洗的工业需要对材料表面清洗前后的清洁度评价提出了高要求。提出使用基于表面粗糙度测量的双向反射技术来表征材料表面质量，以自相关长度（T）与表面粗糙度均方根偏差（σ）作为表征样品表面质量的关键参数。基于Beckmann-Kirchhorff散射积分模型，在粗糙表面上进行合理的简化后，研究了入射光强（I0）和反射光强（Is）的比值（Is/I0）与波长平方分之一（1/λ2）的关系。在简化模型下，在g值比较大的垂直入射方向上，可以获得比较理想的线性曲线。线性拟合获得的参数σg可以作为表面清洁度的表征值。在实验中，将一束氙灯白光以垂直的角度照射到钛合金板材TA15样品表面，收集样品表面镜面反射出的光束。实验结果证实了样品表面质量与σg值大小的相关性。所提方法是无接触式的光谱探测方法，实现了高速扫描，方便快捷，可以在线判断激光清洗后的清洁度。
-
单位分子反应动力学国家重点实验室; 中国科学院; 中国科学院大学
