集成电路老炼试验条件分析及优化

作者：高会壮; 王长鑫; 陈波; 张虹; 徐志阳

来源：现代电子技术, 2023, 46(18): 57-60.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2023.18.011

• 老炼试验
• 集成电路
• 元器件
• 稳态寿命试验
• 激活能
• 老炼时间
• 特征寿命

主要从元器件老炼试验入手，依据寿命分布和反应速率理论，分析元器件老炼试验的原理和目的，并重点基于目前相关标准及研究成果，分析老炼试验条件的设置要素。结合目前国内外元器件整体质量水平及激活能的现状，分析各自标准条件下老炼试验时间的优化途径及参考结果。从理论依据和实际操作方法出发，对典型国内外集成电路老炼试验条件进行分析。以元器件稳态寿命试验结果为特征寿命值参考，论证确定老炼试验条件的方法。分析得出：在125℃条件下，激活能为0.6 eV的器件老炼时间可控制在96 h之内；激活能取0.55 eV，则老炼时间在149 h之内。另外，对目前国内相关标准规范进行研究，针对现行试验条件提出优化方法。

• 单位
  中国航天科工集团公司