宽波段平场复消色差显微物镜设计

作者：管鱼龙; 郑小兵; 翟文超^*

来源：光子学报, 2023, 52(12): 76-87.

• 光学设计
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• 显微物镜
• 平场复消色差
• 宽光谱范围
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目前商品化的显微物镜的适用波段范围无法满足360～1 000 nm波段范围的相关光子光斑的测量要求。从复消色差基础理论出发，研究了复消色差玻璃组合的选择方法，得到了二级光谱校正效果较好的玻璃组合。采用全球面折射式、无穷远校正的结构型式，设计出一款放大倍率为20倍、数值孔径为0.3、工作距离为10 mm、齐焦距为60 mm、视场为0.66 mm、工作波长范围为360～1 000 nm的平场复消色差显微物镜。调制传递函数曲线在80 lp/mm处接近衍射极限，场曲校正满足平场的国际标准，其余成像指标也接近衍射极限。公差分析结果表明，该显微物镜满足设计和实际加工要求。

• 单位
  中国科学院合肥物质科学研究院; 物理学院; 中国科学技术大学