集成电路洁净室空调方案节能分析

作者：赵阳

来源：洁净与空调技术, 2022, (01): 120-125.

• 集成电路洁净室
• 净化空调系统
• 节能分析

集成电路洁净室净化空调系统能耗巨大,合理利用洁净室内的各种能源能够降低集成电路工厂的产品成本,提高企业的产品竞争力,对集成电路产业发展有良好的促进作用,针对集成电路洁净室空调方案进行对比分析,提出一种较为节能的空调系统方案。