传统SAW离子束调频技术研究

作者：伍平; 陈峻; 米佳; 董家和; 赵雪梅; 刘晓莉; 董姝; 黎亮

来源：压电与声光, 2019, 41(06): 874-876.

• 离子束
• 刻蚀速率
• 目标频率

制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al2O3)薄膜,由于Al2O3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂。该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,采用该方法对制作的SAW器件进行离子束调频后,实现了目标频率的调高和调低,并进一步提高了频率集中度,从而解决了低频窄带SAW器件及2 GHz以上SAW高频器件频率精度难以提高的工艺难题。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所