成核层生长工艺对紫外LED外延片性能的影响

作者：孟锡俊; 李建婷

来源：电子元器件与信息技术, 2019, (04): 92-94.

DOI：10.19772/j.cnki.2096-4455.2019.4.027

• 成核层
• 翘曲
• 紫外LED
• 一致性

目前LED产品已经形成了成熟且稳定的产业,新兴的紫外LED的市场也随之发展迅速,使得越来越多的技术人员开始开发研究。本文通过对成核层工艺的研究,结合外延过程中的翘曲情况,得到了成核层生长工艺对紫外LED外延片性能的影响效果。

• 单位
  西安中为光电科技有限公司