磁控溅射Ag膜磨斑微结构与耐磨机理研究

作者：曹亚楠; 夏延秋^*; 段宝玉; 穆文雄

来源：摩擦学学报, 2022, 42(02): 225-233.

DOI：10.16078/j.tribology.2020268

• 磁控溅射
• Ag膜
• 孪晶银
• 微结构
• EBSD

在铜基底上制备了磁控溅射银膜,采用激光共聚焦显微镜(LSCM)、透射电镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及电子背散射衍射(EBSD)等分析技术对载流摩擦试验后的磨斑微结构进行了分析.结果表明:磨斑表面较平滑,可见犁沟、微坑及塑性流动等形貌,磨斑边缘存在堆积和剥落.磨斑表面颗粒形态为短棒状和球状,颗粒尺寸为20～150 nm.磨斑微结构中存在(012)和有利的(111)择优取向,晶粒平均粒度为582 nm,多数晶粒极细小,起到细晶强化作用.在磨斑微结构中发现大量孪晶,(111)取向孪晶占比达到93.5%,这种高密度孪晶夹杂非孪晶的微结构,有利于材料内部的滑移和提高耐磨性.在孪晶界发现存在大量{111}晶面族层错结构,有利于材料晶粒间滑移并提升宏观摩擦性能.

• 单位
  华北电力大学; 内蒙古科技大学