不同像元间距红外探测器的铟柱生长研究

作者：张鹏; 马毅; 聂媛

来源：红外, 2023, 44(07): 1-7.

DOI：10.3969/j.issn.1672-8785.2023.07.001

• 红外探测器
• 铟柱
• 像元间距

分析了红外探测器铟柱生长工艺中不同像元间距情况下铟柱光刻孔内部的铟沉积情况和微观结构。解释了10■m小像元间距条件下铟柱高度较矮的原因，并给出了像元间距大小与剥离后铟柱高度之间的关系。针对10■m及以下像元间距红外探测器的铟柱生长，给出了解决铟柱高度问题的办法。使用新方法后，铟柱的高度可达到5■m以上。

• 单位
  华北光电技术研究所