基于平板扫描器的新型AFM系统

作者：于海峰; 刘超; 张冬仙

来源：光学仪器, 2007, 29(04): 62-65.

DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.2007.04.013

• 平板扫描器
• 原子力显微镜(AFM)
• 传统扫描器
• 交叉耦合误差 plate scanner
• atomic force microscope(AFM)
• traditional scanner
• cross-coupling error

研制了一种基于平板扫描器的新型原子力显微镜(AFM)系统。该系统创新地把二维平板扫描器和一维反馈控制器相结合,有效地克服了传统扫描器Z向反馈控制与XY扫描平面之间的非线性交叉耦合误差,同时保证了大范围扫描时检测光路的稳定性。利用该系统与传统AFM作了氧化铝薄膜和光栅对比扫描实验,结果表明这种AFM系统能够获得无扭曲、规则的理想图像。

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室