飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器

作者：褚东凯; 孙小燕; 董欣然; 胡友旺; 周剑英; 王聪; 段吉安

来源：科学通报, 2016, 61(06): 576-586.

• 飞秒激光
• 化学腐蚀
• 光纤微纳结构

光纤微纳结构传感器具有体积小、质量轻、抗电磁干扰和灵敏度高等优点,已成为各领域不可或缺的传感器件.本文简要介绍了飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构的方法,并根据传感器工作原理,将所得传感器件分为干涉型、衍射型和复合型3种.重点阐述了各类型器件的结构和性能,并对运用该方法制作的光纤微纳结构进行总结和展望.

• 单位
  中南大学; 高性能复杂制造国家重点实验室