基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析

作者：王迪; 陈仲武; 刘建民; 高津平

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(04): 55-60.

• 硫酸与双氧水混合溶液
• 氟塑料卡盘
• 形变
• 结构优化
• 热力耦合

由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较小,为保证该类卡盘的良好性能,采用有限元方法,通过数值模拟研究影响其形变因素,并在此基础上,提出了四种优化结构,能有效地提升卡盘性能;与金属相比,氟塑料的线性膨胀系数较大,采用热力耦合方法,研究氟塑料卡盘在高温下形变,比如PTFE(聚四氟乙烯)材质卡盘的最大径向位移在设计温度下约增加34.5%。因此,为保证氟塑料卡盘性能,温度不可忽略。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所