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摘要
石墨烯是一种新奇的纳米料,其电学特性与几构密切相关,因此特定几构的工技是石墨烯纳米器件走入实际应用的关.然而迄为,还没有能够快速、低成本实现上目标的方法.本文提出了一种于原子力显微镜(AFM)械切割的石墨烯剪方法,实现了各种石墨烯纳米结构如纳米带、三角等的可控工;探索了载荷与剪效之间的关系,同时结旋转底法实现了AFM针尖效应对切割力检测影响的有效克服,在理论实验上系统研究了晶格切割方向对纳米切割力大小的影响.本研究表明实时切割力可以作为纳米工过程的状态反馈信息来引纳米切割的进行,这为实现晶格精度的石墨烯可控工奠定了理论与实验础,由于该方法还具有与并行探针相兼容的优点,因此有望在规模化、批量化、低成本的石墨烯纳米器件制造中发挥重要作用.
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单位机器人学国家重点实验室; 中国科学院沈阳自动化研究所; 中国科学院研究生院
