超薄锗片粘蜡工艺研究

作者：王云彪; 陈雅楠; 田原; 耿莉

来源：电子工艺技术, 2018, 39(05): 297-300.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2018.05.013

• 超薄锗片
• 抛光片
• 粘蜡
• 表面形变
• 吸头

超薄锗片是制作多结空间太阳能电池的主要衬底材料,随着空间卫星技术的不断发展,对高质量超薄锗抛光片的需求量正在逐年增加。粘蜡抛光是获得高平整度抛光片的主要手段,也是未来超薄大尺寸锗单晶片加工的必然选择。从涂蜡参数、烘烤条件、翻转吸头和压头参数影响等方面,研究蜡层厚度及均匀性和粘蜡后表面形变问题,通过调整参数,重新设计翻转吸头,确定了适合超薄锗片的粘蜡工艺,获得了高平整度的锗抛光片。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所