非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性

作者：徐娓; 王欣; 贾辉; 郑伟涛; 龙北红

来源：高等学校化学学报, 2007, (11): 2102-2105.

• 非晶氮化铁薄膜
• 动力学标度方法
• 热重新发射模型 Amorphous iron nitride thin films
• Dynamic scaling approach
• Thermal reemissions model

采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=0.54±0.07.薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.

• 单位
  吉林大学; 北华大学; 材料科学与工程学院; 无机合成与制备化学国家重点实验室; 物理学院