PVP掺杂-ZrO_2溶胶-凝胶工艺制备多层激光高反射膜的研究

作者：梁丽萍; 张磊; 徐耀; 章斌; 吴东; 孙予罕; 蒋晓东; 魏晓峰; 李志宏; 吴忠华

来源：Acta Physica Sinica, 2006, (11): 6175-6184.

• 溶胶-凝胶
• PVP-ZrO2
• 高反射膜
• 激光损伤 sol-gel
• PVP-ZrO_2
• highly reflective coating
• laser-induced damage

以丙醇锆(ZrPr)为锆源,二乙醇胺(DEA)为络合剂,原位引入聚乙烯吡咯烷酮(PVP),在乙醇体系中成功地合成了PVP掺杂-ZrO2溶胶.采用旋涂法在K9玻璃基片上制备了PVP-ZrO2单层杂化薄膜.用不同掺杂量的PVP-ZrO2高折射率膜层与相同的SiO2低折射率膜层交替沉积四分之一波堆高反射膜.借助小角X射线散射研究胶体微结构,用红外光谱、原子力显微镜、紫外/可见/近红外透射光谱、椭圆偏振仪以及1064nm的强激光辐照实验对薄膜的结构、光学和抗激光损伤性能进行表征.研究发现,体系组成的适当配置可以在溶胶稳定的前提下实现ZrPr的充分水解,赋予薄膜良好的结构、光学和抗激光损伤性能.杂化体系...

• 单位
  材料科学与工程学院; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 中国科学院高能物理研究所; 煤转化国家重点实验室; 太原科技大学; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 中国科学院研究生院