屏蔽挡板对电铸微模芯厚度均匀性的影响

作者：马鑫; 蒋炳炎; 陈中原; 吕辉; Stefan Kirchberg

来源：电镀与环保, 2014, 34(05): 8-11.

DOI：10.3969/j.issn.1000-4742.2014.05.004

• 电铸微模芯
• 有限元仿真
• 微透镜阵列
• 厚度均匀性

利用有限元分析软件Ansys对电铸系统中阴极电流密度分布进行模拟。研究了不同屏蔽挡板对阴极电流密度分布的影响,预测了电铸模芯厚度均匀性的变化趋势。结果发现:屏蔽挡板能提高电铸模芯的厚度均匀性;当屏蔽挡板的方孔与阴极等大时,模芯的厚度均匀性最佳,模芯边缘与中心的厚度比由不使用屏蔽挡板时的2.03缩减至1.15。根据仿真优化结果设置对照实验。使用厚度测量仪检测样品各点的厚度,采用影像测量仪观察微透镜阵列模芯表面形貌及截面厚度的分布情况。实验结果与仿真结果匹配,优化后的模芯边缘与中心的厚度比为1.42,形貌与母版的基本一致。

• 单位
  机电工程学院; 高性能复杂制造国家重点实验室; 中南大学