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摘要
微颗粒操控技术以其控制精确，成本低及简洁高效的特点，在生物医学工程和微纳米器件制造领域有广阔的应用前景。传统操控方法对无磁性、无导电性及大密度固体微颗粒的操控存在不足。因此，该文提出一种基于压电悬臂梁低频振动的微颗粒操控系统，利用流场底部流动实现微颗粒的聚集。聚集显微实验表明，压电振子的低频振动激发流场底部流动，使培养皿底部的球型氧化铝颗粒向目标区域移动和聚集，并在122 s时达到稳定状态。对试验结果进行图像处理，结果表明，微颗粒稳定聚集后的聚集面积为79 405μm2。该操控方法可实现大密度微颗粒的聚集，且聚集范围大，可为微纳器件制造提供参考。
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