AlInN三明治势垒GaN HFET

作者：薛舫时; 孔月婵; 董逊; 周建军; 李忠辉; 陈辰

来源：固体电子学研究与进展, 2011, (05): 421-428+472.

• 铝铟氮/氮化镓异质结场效应管
• 铝铟氮三明治势垒
• 栅流
• 电流崩塌
• 二维异质结构

介绍了国际上AlInN势垒HFET的最新发展。从器件性能分析中发现这种新势垒显著提高了沟道电子气密度,增大了强场漂移速度,消除应变提高了器件可靠性和热稳定性,能在高温下有效工作,使GaN HFET研究走上新的台阶。但是薄势垒引起的大栅流和电流崩塌是阻碍器件性能提高和实际应用的主要瓶颈。利用AlInN/AlGaN异质界面的大能带带阶和强极化电荷来剪裁能带,设计出新的三明治势垒,满足内、外沟道和欧姆接触势垒的要求。可望消除上述瓶颈,使AlInN势垒GaN HFET付诸实用。