节约能耗是促进微电子工业发展的重要推手。本文从“空调方案、设备选择和余热利用”方面介绍了一些实例，漫谈了些许经验。就空调方案、通风系统和设备的合理选择，微电子工业洁净厂房的冷热源综合利用等问题，以工程实践成效为线索给出了一些节能建议。
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