氮化硅减反射膜制备工艺对组织结构及折射率影响的研究

作者：高越; 王宙^*; 付传起; 杨梓健; 项永矿

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(06): 455-459.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.06.01

• 脉冲激光沉积
• 减反射
• 氮化硅薄膜
• 太阳能电池

太阳能电池是一种清洁能源,近年来发展迅猛。减反射膜能大幅减少太阳能电池对光线的反射,从而提高电池光电转化率。为优化减反射效果,减反射膜设计多样,包括单层膜、双层膜、三层膜和多层膜,膜层不同对薄膜材料的折射率要求不同。氮化硅薄膜是一种优秀的硅基太阳能减反射膜,其折射率在1.78～2.5之间,调控范围广。本文采用脉冲激光沉积法制备氮化硅减反射膜,研究不同工艺参数对硅片上沉积的氮化硅薄膜性能的影响。

• 单位
  大连大学