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摘要
电致发光（EL）检测是PERC太阳电池生产中常用的缺陷检测方法，其中位于太阳电池中间位置缺陷的降级占EL检测不良降级的50%以上，成为了各大太阳电池制造企业EL检测良率突破99%的主要障碍。为找到缺陷的成因并改善这种问题，进而提升太阳电池的质量降低制造成本，该文对太阳电池EL检测下中间位置出现缺陷的原因进行分析研究。通过QE测试和元素成分分析排除由硅片质量和杂质污染所引起缺陷的可能性，再结合电化学电容-电压方法（ECV）及扫描电镜（SEM）测试，确定PERC电池中间位置缺陷的产生是由于扩散工艺表面杂质浓度过高所导致的。该文针对缺陷成因提出有效的解决方案有助于提升太阳电池的质量及EL检测良率。
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