基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展

作者：欧阳佩东; 衣新燕; 罗添友; 王文樑; 李国强

来源：人工晶体学报, 2022, 51(9): 1691-1702.

DOI：10.3969/j.issn.1000-985X.2022.09.018

• AlN薄膜
• 体声波滤波器
• 材料生长
• 设备制造
• 单晶AlN的体声波谐振器

在5G通信时代,体声波(BAW)滤波器件成为实现高性能射频(RF)滤波的有效解决方案.在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术和专利被少数几家公司持有的大环境下,对压电薄膜生长、器件的制备工艺等方面进行突破,形成独有的BAW器件技术路线显得尤为重要.本文综述了AlN薄膜的生长、AlN材料在BAW滤波器件的发展、基于AlN的BAW器件的制备及其应用.在国内研究者的努力下,基于单晶AlN的体声波谐振器(SABAR)器件,通过在材料生长方法及制备工艺上的独立自主创新,不仅使BAW滤波器件的性能得到了进一步提升,也给受到国外掣肘的国内射频滤波行业带来了一条摆脱国外"卡脖子"问题的新路线.

• 单位
  华南理工大学